Telu tetrafluoride có thể được điều chế theo phản ứng sau:

TeO2 + 2SF4 → TeF4 + 2SOF2

Nó cũng được điều chế bằng phản ứng nitryl fluoride với teluride hoặc từ các nguyên tố thành phần ở nhiệt độ 0 °C hoặc bằng phản ứng giữa selen tetrafluoride với teluride dioxide ở nhiệt độ 80 °C.

Khí flo trong nitơ có thể phản ứng với TeCl2 hoặc TeBr2 để hình thành TeF4.